Cat-CVD研究会

2022年7月14日(木),15(金)

ハイブリッド開催 産総研 九州センター  



研究会案内

実行委員長より

 2022年 5月 11日

 本年で第19回を数えますCat-CVD研究会は、2022年7月14日(木)、15日(金)の日程で開催致します。Cat-CVDは、従来のシリコン系にとどまらず、有機系や、ダイヤモンドに代表されるカーボン系まで、多岐にわたる材料の形成に用いられており、それぞれの材料が、多くの応用分野において活用されております。また、Cat-CVDは、薄膜堆積のみならず、触媒分解により生成したラジカルを用いた試料表面の改質や、ドーピングへの利用も可能であり、幅広い分野への応用が期待されております。
 新型コロナの影響により活動の制限が求められる中、久しぶりに皆様で集まって議論する場を設けるました。今回は産業総合研究所九州センターを開催地といたします。一方で、お住まいの都道府県やご所属の機関の要請により、現地への出張が難しい方々もおられると思います。そのような皆様にも発表や議論の機会を提供できるよう、オンラインでのご参加も可能とする、ハイブリッド開催を計画しております。
 多くの皆様のご投稿、ご参加を、お待ちいたしております。   

第19回Cat-CVD研究会 実行委員長  大曲 新矢

テーマ・内容

以下のCat-CVD技術について、基礎から応用まで幅広く議論します。

 (1) ガスの分解過程、気相反応、触媒体材料
 (2) Cat-CVD、Hot-Wire装置開発
 (3) 堆積膜の基礎物性および評価
 (4) ラジカル処理
 (5) デバイス応用
 (6) 新分野・新展開  など


日時場所

開催日時

2022年 7月 14日(木)~15(金)

開催場所

ハイブリッド開催

産業技術総合研究所九州センター第2棟大会議室(佐賀県鳥栖市)

アクセス

  アクセス詳細

産総研九州

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